Семинар "Практическое применение эллипсометрии в современных технологических процессах" 27 марта 2014 года

27 марта 2014 с 14.00 по 17.00 часов в Технопарке "Слава", г. Москва состоится семинар "Практическое применение эллипсометрии в современных технологических процессах".

В программе:
- введение в эллипсометрию (метод, возможности, объекты, области применения);
- требования к образцам;
- типовые задачи (слой SiO2 на Si, слой полимера на подложке, слой металла на подложке, контроль равномерности толщины тонкого слоя и т.д.);
- нестандартные применения метода эллипсометрии;
- новинки в области эллипсометрии: выступление представителей компаний, производящих эллипсометры (ЗАО "Концерн "Наноиндустрия" (Россия), Horiba Scientific (Франция), Accurion (Германия). Sentech Instruments (Германия) Ellipso Technology Co (Корея) и др.;
- экскурсия в Технологический Центр коллективного пользования ОАО "Технопарк Слава";
- мастер-класс по эллипсометрии.

  страница 1 из 1