Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2016», Звенигород, 3-7 октября 2016 года

3-7  октября 2016 года в Звенигороде (Московская область) состоится Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2016»(ICMNE-2016) . 

Тематика:
Материалы и пленки для микро- и наноэлектронных структур:Si, SOI, DOI, SiGe, A3B5, A2B6
High-k диэлектрики, low-k диэлектрики
Металлы для затворов, контактов и систем металлизации наноразмерных приборов
Магнитные материалы, наномагнетики
1D и 2D материалы
Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы
Технологии микро- и наноэлектроники, технологическое оборудование:
Суб-100 нм литография: DUV, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
Плазменные и ионно-пучковые процессы и технологии для микро- и наноэлектроники
Ионная имплантация: пучковая и плазменно-иммерсионная
Процессы CVD, молекулярная эпитаксия
Метрология:
In situ методы мониторинга технологических процессов
Методы контроля, диагностики и характеризация микро- и наноструктур
Физика и технология микро- и наноразмерных приборов:
Тенденции масштабирования: More Moore, beyond CMOS, and more than Moore trends
Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные и другие
Интегральные устройства памяти, DRAM, ReRAM, FeRAM
Приборы оптоэлектроники, фотоники
Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
Приборы оптоэлектроники, фотоники
Микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS)
Моделирование
Технологии и перспективное технологическое оборудование для приборов микро- и наноэлектроники:
Суб-65 нм литография: DUV, иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС
Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС
Технологии получения 2D материалов (графен, MoS2, WS2 и другие)
Технологии создания МЭМС и НЭМС
Технологии создания сверхпроводящих приборов
Квантовая информатика:
Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
Квантовые измерения
Квантовые алгоритмы
Квантовая связь

Файлы тезисов докладов на ICMNE-2016 направлять по адресу icmne2016@gmail.com.
Последний срок отправки тезисов 1 августа 2016 г.

  страница 1 из 1