Сибирские ученые разработали микроскоп для работы с нанообъектами

ПРЕСС-РЕЛИЗ

Сотрудники Конструкторско-технологического института научного приборостроения СО РАН разработали микроскоп, который позволяет работать с объектами, измеряемыми в нано- и пикометрах. Высокая точность прибора достигается использованием в нем атомно-гладких зеркал.

В отличие от обычного, созданный в КТИ НП СО РАН микроскоп – цифровой, то есть изображение выводится на экран компьютера, где в дальнейшем с ним можно работать – выбирать измеряемую область, перемещать объект и даже поворачивать его. Кроме того, для создания этого оборудования были использованы атомно-гладкие зеркала, которые на сегодняшний день производит только Институт физики полупроводников СО РАН им. А.В. Ржанова. Такая модификация позволила резко повысить точность работы прибора.

На сегодняшний день существует несколько образцов этой разработки, которые используются в институтах Сибирского отделения, в настоящий момент создаются еще несколько - для Института ядерной физики СО РАН и Института сильноточной электроники СО РАН (Томск). В КТИ НП СО РАН микроскоп используется, в частности,  для контроля дифракционных линз, созданных с помощью фотоплоттера.

-  Можно на стеклянной подложке толщиной 5 мм нарисовать такой узор, который при освещении пучком света преобразовывается различными способами, - рассказывает о применении этой разработки директор КТИ НП СО РАН доктор технических наук Юрий Васильевич Чугуй. -  Величина такого узора – несколько микрон, и важно, чтобы он был сделан с высокой точностью. Для контроля качества в частности используется этот микроскоп. А сами дифракционные линзы применяются, например, в космической промышленности.

Кроме того, такое оборудование позволяет решить и важную метрологическую задачу. Постоянная работа с нанообъектами показала, что для их корректного измерения необходимы свои эталоны.

- Измерение – это сравнение, поэтому когда мы пытаемся что-то померить, нам нужно иметь другой объект, эталон, с которым мы будем сравнивать, – рассказывает старший научный сотрудник КТИ НП СО РАН кандидат технических наук Евгений Владимирович Сысоев. – Это оборудование как раз позволяет создать такой эталон. То есть мы берем какой-то объект, измеряем и документируем, например, что его величина – 1,3 нанометра. И дальше мы можем сравнивать другие объекты с ним и тем самым измерять их. 

Подготовила:
Юлия Позднякова
ЦОС СО РАН
7.11.2011