Программа семинара по проблемам химического осаждения из газовой фазы, 16 – 20 августа 2010, Иркутск

Первый семинар по проблемам
химического осаждения из газовой фазы
16 – 20 августа 2010, Иркутск

Состав оргкомитета семинара:
Сопредседатели:
академик Ф.А. Кузнецов, советник РАН, ИНХ СО РАН, Новосибирск
академик М.Г.Воронков, советник РАН, Институт химии силикатов, С.-Петербург
Члены оргкомитета:
д.х.н., профессор В.И.Рахлин, в.н.с. ИрИХ, Иркутск
д.х.н., профессор Е.Е.Гринберг, зам. директора ИРЕА, Москва
к.х.н. Б.А.Гостевский, с.н.с. ИрИХ, Иркутск
Ученый секретарь семинара:
к.х.н. М.Л. Косинова, ИНХ СО РАН, Новосибирск

Организаторы: ИНХ СО РАН,
     ИрИХ СО РАН 

Место проведения – турбаза Аршан, Иркутская область

ПРОГРАММА
Первого семинара
по проблемам химического осаждения из газовой фазы
16 – 21 августа 2010, Иркутск

17 августа 2010
Церемония открытия семинара
Председатель: академик Ф.А. Кузнецов (ИНХ СО РАН, Новосибирск)
  
10:00—10:20 Приветственное слово
 академик Ф.А. Кузнецов (ИНХ СО РАН, Новосибирск)
 академик М.Г. Воронков (Институт химии силикатов РАН,
Санкт-Петербург)

 Сессия  1
Председатель: профессор В.И. Рахлин (ИрИХ СО РАН, Иркутск)
  
10:20—10:40  М.Г.Воронков
«Основные направления и перспективы развития химии летучих кремнийэлементоорганических соединений в ИрИХ СО РАН»
10:40—11:00  Р.Г.Мирсков
«Кремнийэлементоорганические прекурсоры для получения наноразмерных диэлектрических слоев»
11:00—11:20  В.И.Рахлин, Г.В.Калмычков
«Синтез летучих олигосилоксанов линейного, циклического и каркасного строения из природных и синтетических силикатов»
  
11:20—11:40 Кофе/чай
  
Сессия 2
Председатель: д.х.н. Н.Б. Морозова (ИНХ СО РАН, Новосибирск)
  
11:40—12:00  Б.А.Гостевский
«О-ТМС-гидразиды карбоновых кислот – потенциальные прекурсоры для СVD-процессов осаждения тонких пленок»
12:00—12:20  Н.О.Ярош
«Летучие кремний- и кремнийгерманийорганические макроциклы»
12:20—12:40  И.П.Цырендоржиева, В.И.Рахлин, А.В.Лис, М.Г.Воронков
«Новый способ получения аминосиланов – прекурсоров для получения пленок карбонитрида кремния»
12:40—13:00  С.В. Сысоев, Л.И. Чернявский, В.И. Рахлин,
Л.Д. Никулина, А.А. Титов
«Характеризация органоаминосиланов как предшественников в процессах получения пленок функциональных материалов осаждением из газовой фазы»
  
13:00—14:30 Обед
  
14:30—16:00 Круглый стол по проблемам синтеза и характеризации новых летучих соединений – перспективных предшественников для процессов химического осаждения из газовой фазы.
18 июня 2010

Сессия  3
Председатель: профессор Т.П. Смирнова (ИНХ СО РАН, Новосибирск)
  
10:00—10:20  Р.А Санду, А.С. Быковская, Е.Е. Гринберг
«Состояние разработок и производства в РФ особо чистых веществ для электроники и функциональной керамики»
10:20—10:40  Е.Е. Гринберг, И.С. Быков, А.В. Наумов, Ю.И. Левин
«Проблемы регенерации отходов производства электронных компонентов»
10:40—11:00  И.Е. Стрельникова, Е.Е.Гринберг, Ю.И.Левин, А.Л.Разинов, И.С. Быков, В.С.Михель
«Высокочистые соединения алюминия для получения наноструктурированных оксидов».
11:00—11:20  Е.Е. Гринберг, И.Е. Стрельникова, Ю.И. Левин, Р.А. Санду, В.С. Михель
«Вопросы глубокой очистки веществ для золь-гель и пиролитических методов осаждения – технология, оборудование, кадры».
  
11:20—11:40 Кофе/чай
  
Сессия  4
Председатель: к.х.н. М.Л. Косинова (ИНХ СО РАН, Новосибирск)
  
11:40—12:00  В.В. Сырычко, А.А. Захарьян, Е.Е. Гринберг
«Новые подходы к микрофильтрационной очистке летучих соединений»
12:00—12:20  К.В. Жерикова, Н.Б. Морозова, П.П. Семянников, С.В. Трубин, И.К. Игуменов
"Летучие соединения рутения (II,III) с органическими лигандами: синтез, структура, свойства"
12:20—12:40  Н.Б. Морозова, Г.И. Жаркова, И.К. Игуменов, Ю.Г. Одеянко
“Синтез и исследование летучих соединений золота(III)с органическими лигандами”
12:40—13:00  П.А. Стабников, С.В. Сысоев, Г.И. Жаркова
«β-дикетонаты и β-кетоиминаты палладия(II): летучесть, упаковка молекул и энергия кристаллической решетки»П.П.
  
13:00—14:30 Обед
  
14:30—16:00 Круглый стол по проблемам очистки летучих соединений.
 
19 августа 2010

Сессия 5
Председатель: к.х.н. Б.А.Гостевский (ИрИХ СО РАН, Иркутск)
10:00—10:20  Ф.А. Кузнецов, Л.И. Чернявский
«Термодинамическое моделирование процессов CVD»
10:20—10:40  Н.И. Файнер
"Карбонитрид кремния - перспективный многофункциональный материал"
10:40—11:00  Ю.М. Румянцев, Н.И. Файнер, М.Л. Косинова, Б.М. Аюпов, В.И. Рахлин
«Газофазный синтез тонких пленок карбонитрида кремния из триметил(фениламино)силана»
11:00—11:20  В.Н. Демин, Г.Н. Грачев, А.Л. Смирнов, А.М. Бакланов
Лазерный плазмохимический синтез  нанокомпозитных покрытий на конструкционных материалах
11:20—11:40  М.Л. Косинова, В.С. Суляева, Ю.М. Румянцев,
К.Г. Мякишев, Ф.А. Кузнецов
«Синтез и характеризация пленок карбонитрида бора»
  
11:20—11:40 Кофе/чай
  
Сессия 6
Председатель: проф. Е.Е. Гринберг (ИРЕА, Москва)
  
11:40—12:00  Т.П. Смирнова, М.С. Лебедев, В.О. Борисов, В.Н. Кичай
«Диэлектрических пленки для наноэлектроники, полученные из летучих комплексных соединений металлов»
12:00—12:20  Б.М. Кучумов, Т.П. Корецкая, И.К. Игуменов, В.Л. Будович
«ВУФ стимулированные процессы разложения летучих органометаллических молекул на поверхности кремния»
12:20—12:40  Ю.В. Шевцов, Б.М. Кучумов, И.К. Игуменов, А.Р.Семенов,
С.В.Трубин, С.В.Нечаев
«Вакуумная импульсная установка c горячими клапанами (PMO CVD)»
12:40—13:00  П.П. Семянников, С.В. Трубин, П.А. Прозоров
"Развитие методов масс-спектрального эксперимента применительно к CVD процессам"
13:20—13:40  С.В. Трубин, П.П. Семянников
Масс-спектральное исследование термических свойств β-дикетонатов металлов(III) и процессов химического превращения при взаимодействии их паров с поверхностью

13:40—14:30 Обед
14:30—16:00  Круглый стол по проблемам создания пленок и структур методами CVD.
16:00      Закрытие семинара